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Drunkar のブックマーク 2018/05/01 00:38
より微細な半導体デバイスを作るために、表面加工に欠かせないレーザー光源を開発 | NEDO | 実用化ドキュメント[産業技術史]2018/05/01 00:38
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www.nedo.go.jp2018/05/01
表面加工の微細化 180nm → 32nm(原子約300個分) (KrFソリグラフィ) → (ArF液浸ダブルパターニング ソリグラフィ) ※nmはナノメートル、10-9メートル=10億分の1メートル 私たちの身の回りには、コンピューター(半...
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Drunkar のブックマーク 2018/05/01 00:38
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表面加工の微細化 180nm → 32nm(原子約300個分) (KrFソリグラフィ) → (ArF液浸ダブルパターニング ソリグラフィ) ※nmはナノメートル、10-9メートル=10億分の1メートル 私たちの身の回りには、コンピューター(半...
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