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[pdf]HiPIMSで 最高品質のスパッタ成膜を - 東京電子株式会社
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極高真空技術で 1000兆分の1を計る 最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を保持するた... 極高真空技術で 1000兆分の1を計る 最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を保持するためには、チップ内部の極微小ガスを計る必要があります。その値は1000兆分の1。東京電子は極高真空技術で最先端デバイスが創り出す先進社会を支えます。 パルスパワー技術で 1000年先の次世代社会を創る 1000年先の未来まで永続的なエネルギーを供給する手段、それはフュージョンエナジー「核融合」です。ウランもプルトニウムも使わない脱炭素社会の次世代エネルギー。 東京電子はパルスパワー技術で核融合の高周波加熱を起こす加速電源を造っています。