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Xenos のブックマーク 2022/03/20 23:18
[pdf]HiPIMSで 最高品質のスパッタ成膜を - 東京電子株式会社[研究][半導体]2022/03/20 23:18
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www.toel.co.jp2022/03/20
極高真空技術で 1000兆分の1を計る 最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を保持するためには、チップ内部の極微小ガスを計る必要があります。その値は1000兆分の1。東京電子は極高真空技術で最...
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[pdf]HiPIMSで 最高品質のスパッタ成膜を - 東京電子株式会社
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極高真空技術で 1000兆分の1を計る 最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を保持するためには、チップ内部の極微小ガスを計る必要があります。その値は1000兆分の1。東京電子は極高真空技術で最...
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