出会いを形に。露光機のマッチング｜リソグラフィエンジニアの戯言

"ミックス アンド マッチ" という言葉があります。ググってみると、ファッションにおいて様々な種類のデザインを組み合わせて着こなすこと、らしいです。 この言葉、ものづくりでは装置性能の組み合わせを指し、特に半導体工場における露光機の組み合わせという特化した意味合いを持ちます。（どうも他の業界ではあまり使われていないっぽい） このNoteは工場立ち上げ・運営における露光機マッチングの重要性についてのお話です。広告サイトではありません。 ■ 露光機のマッチング特性 リソプロセス立ち上げは独立国建国のようなものというお話。 政治的な話ではありません。 工場全体として要素は多々ありますが、リソに絞ってのお話です。 各工場には露光機が数十台あることが通例です。それぞれが単体性能を出すことは必須として、さらに機台間マッチングも重要特性となります。→ — リソグラフィエンジニアの戯言 (@Probabl