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CCDのソニーも裏面照射型でCMOSへ(後)
CCD,既存のCMOS,BSI型CMOSの各センサーを比較した。BSI型は入射光を配線が遮ら ず高感度にできる。ソ... CCD,既存のCMOS,BSI型CMOSの各センサーを比較した。BSI型は入射光を配線が遮ら ず高感度にできる。ソニーが作成した断面図を使い,本誌が作成。 一方CCDセンサーは,フォトセンサー上のメタル配線が1層に過ぎず,入射光がCMOSセンサーほどは遮られない。この結果,CCDセンサーの感度はCMOSセンサーに対して2倍ほど高かった。結婚式でのキャンドルや夜景も撮影するビデオ・カメラでは,この感度の違いからCCDセンサーが市場において有利な状況が20年以上続いてきた (別掲記事を参照)。 これに対してBSI型CMOSセンサーは,フォトセンサーの上部にメタル配線層が全くない構造である。具体的には,フォトセンサーの下側(裏面)から光を取り入れるようにしている。一般にCMOSセンサーはフォトセンサーの形成後に配線を形成することから,フォトセンサーの上側(表面)にメタル配線層ができてしまう。そこ
2012/09/20 リンク