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【MEMS2008】トンボの羽につける微小風速センサ,東大が開発
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【MEMS2008】トンボの羽につける微小風速センサ,東大が開発
東京大学大学院情報理工学系研究科 教授の下山勲氏の研究グループは,トンボなど昆虫の羽に装着して羽の... 東京大学大学院情報理工学系研究科 教授の下山勲氏の研究グループは,トンボなど昆虫の羽に装着して羽の動きを解析するための微小風速センサを開発し,MEMSの国際学会「MEMS 2008」(米国アリゾナ州ツーソン,2008年1月13~17日)で実演も交えて発表した。 同グループが開発したのは,寸法が約3mm角,厚み約1mmの微小風力センサ。3mm角のチップには2個のセンサを搭載しているため,センサ1個当たりの寸法は約1.5mm×3mmである。 下山氏の研究グループは,MEMS全般を開発すると同時に,昆虫の動きを研究している。これは同研究室が昆虫のふるまいを研究していた,元・東京大学工学部機械情報工学科教授 三浦 宏文氏の流れを組んでいるためである。今回のセンサはMEMS技術を昆虫の動きの解析に応用する目的で開発したという。 センサは,長さが約0.5mm,厚みが1μm以下のカンチレバー(片持ちバネ