【MEMS 2012】Si発振器の課題を新構造で解決、PLL無しの素子も

フランスはパリで1月30日から開催中の「第25回IEEE MEMS国際会議（The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）」では、最初にあったOptical MEMSセッションに続き、RF（無線周波） MEMS、ポスター、Power MEMSの各セッションが続いた。その中から1件、紹介しよう。