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日本に虚を突かれて1カ月半、「フッ化水素独立」年末にもめどか 日本政府が半導体・ディスプレーの重要素材3種類について、韓国に対する輸出規制を発表してから約50日が過ぎた。うち極端紫外線（EUV）用フォトレジストについては、日本が7日に輸出を許可したが、残るフッ化水素、フッ化ポリイミドについては輸出が許可されたとの情報はない。半導体生産に必須の素材であり、使用量が多いフッ化水素に対する懸念は強い。日本が7月4日に輸出規制を実施して以降、日本製のフッ化水素は1件も韓国の輸入されていない状況だ。 サムスン電子とSKハイニックスは供給が途絶えたフッ化水素の代替供給を確保するためにさまざまな方策を検討しているが、直ちに生産に投入できる段階ではない。半導体業界関係者は「国内メーカーが生産した液体フッ化水素をテスト中だが、納品可能な量自体が不足しており、フッ化水素の供給難は年末まで続く可能性がある」と述

日本が2カ月でフッ化水素輸出規制解くも…業界「安心するのは早い、対日依存度を引き続き減らす」 「まだ安心するのは早い。日本への依存度を下げる供給多様化は推進し続けるだろう」 これは、29日に日本の経済産業省がフッ化水素の韓国輸出を承認したことについて、韓国のある半導体メーカー役員が翌30日に語った言葉だ。今回の輸出承認で半導体材料不足のリスクはある程度緩和されたが、日本はいつでも同じ形で韓国の半導体産業に圧力を加える可能性があると見ているのだ。 日本政府は先月4日、フッ化水素・極端紫外線（EUV）用レジスト（感光材）・フッ化ポリイミドという3つの材料の韓国輸出規制を開始し、1カ月間供給しなかったが、今月7日と19日にEUV用レジスト輸出を、続く29日にはフッ化水素輸出を承認した。29日に承認されたのはサムスン電子向けのもので、SKハイニックス向けのものは30日現在承認されていない。このため

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日本から全量輸入していた半導体コーティング素材を国産化 核融合研、国内の中小企業に技術移転協業 国家核融合研究所（以下、核融合研）は最近、国内の中小企業との協力を通じ、日本への輸入依存度が100％だった半導体コーティング素材を国産化したと29日発表した。国内の中小企業、セウォンハードフェイシングが2017年に核融合研から移転されたプラズマ技術を利用し「酸化イットリウム」を開発したのだ。 プラズマ技術開発者のホン・ヨンチョル博士（核融合研）は「優れた品質で細かい溶射粉末の制作が可能なプラズマ技術は、半導体工程以外にもさまざまな素材産業に活用できる」として「これを活用した素材技術の国産化の研究を続ける計画だ」と話した。 酸化イットリウムは、プラズマエッチャーや化学蒸着装置（CVD）の内部コーティングなど半導体工程設備に適用される素材だ。特に半導体、自動車、電子製品などは粉末状態の酸化イットリウ