台湾TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.)は、2013年末までに少量生産(リスク量産)を始める16nm世代のプロセス技術を発表した(講演番号9.1)。モバイル機器やコンピューティング機器用のSoC(system on a chip)向けで、同社として初めて立体トランジスタ(FinFET)を導入した。28nm世代プロセス(high-kゲート絶縁膜/メタル・ゲート版)に比べてトランジスタの集積密度は2倍に高まり、トランジスタの動作速度を35%向上または消費電力を55%低減できるという。 TSMCは現在、20nm世代プロセス(20SOC)をリスク量産中で、続く16nm世代プロセスについても近くリスク量産を始める。16nm世代プロセスではSRAMやリングオシレータ、さらには英ARM社のプロセサ・コア「Cortex-A57」を載せたテスト