研究テーマ 1) 薄膜機械特性の計測評価 2) マイクロ電子機械(MEMS)機能性デバイスの創製 3) Bio-MEMS技術を利用した生化学分析 4) マイクロ金属成形 5) 金属板材成形加工の知的センシング制御 1. Effect of Phase Transformation on Surface Roughening Behavior in Austenitic Thin Metal Foils, Materials Science Forum, Vol.1057, 205-210, Abdul Aziz, Ming Yang, Tetsuhide Shimizu, Tsuyoshi Furushima, 2022年3月 2. Investigation on Deformation Behavior in the Surface of Metal Foil with Ultraso