クリーンルーム内のダストについて考えてみましょう。クリーンルーム内には５μｍより大きなダストはない？？ ◆パーティクルカウンターでの評価には限界がある。 クリーンルームやクリーンブースの評価は通常、パーティクルカウンターを使用します。対象となる微小なゴミ（パーティクル）は目に見えないからです。ところが、一般的なパーティクルカウンターの最大の粒径は５μｍ。実は５μｍ～１００μｍの範囲も目にはよく見えませんが、この範囲のゴミがあるのか、ないのか、実はパーティクルカウンターではよくわからないのです。 ◆ホコリの対象サイズに適する見える化ツールを選びましょう。
