圧力センサを内蔵する、人工皮膚に応用可能なフレキシブル膜 | スラドベルギーのInteruniversity Microelectronics Center（IMEC）が、膜にかかる圧力の変化を検出することができるフレキシブル膜を開発したと発表した（IMECの発表資料、EE Times Japanの記事）。 この膜は、面発光レーザーを使用して圧力の変化を検知するもので、膜の表面近くに厚さ30マイクロメートルという薄型の面発光レーザー素子と光検出器が埋め込まれている。膜の内部には光を通す光導波路が作り込まれており、膜に圧力が加わると導波路の形状が変化し、光の伝わり方も変化する。その変化を光検出器で検出することで、圧力がかかった位置や強さを検出するというものだ。 この技術は、柔軟でかつ対象物の接触や形状変化などを感知できる「人工皮膚」への応用が期待されているということだ。
