情報・電気・数理系技術班(電気電子工学科) 笠田 洋文 kasada@ele.tottori-u.ac.jp ※「工学部技術部報告 第一集」に執筆した内容をhtmlに書き直してみました。印刷は白黒でしたが、こちらは色付きです! 1.EPMAとは 加速した電子線を物質に照射(電子線による励起)すると図1に示すような幾つかの反応があらわれます。これらのうちEPMA(Electron Probe Micro Analyzer)は、特性X線のスペクトルに注目して、電子線が照射されている微小領域(おおよそ1μm3)に於ける構成元素の検出及び同定と、各構成元素の比率(濃度)を分析する装置であり、固体の試料をほぼ非破壊で分析することが可能です。 注) EPMAは分析機器としての名称以外にElectron Probe Micro Analysisの略として、分析手法の名称としても使われます。 EPMAは一