オフィスフロアのスペースに半導体工場ができる! ミニマルファブ向け装置:SEMICON Japan 2014(1/2 ページ) 産業技術総合研究所コンソーシアム・ファブシステム研究会(以下、産総研コンソーシアム)とミニマルファブ技術研究組合は、「SEMICON Japan 2014」(2014年12月3~5日)で、ミニマルファブ向けの製造装置を実演展示した。「メガファブ」と呼ばれるこれまでの半導体製造工場に比べて、設備投資コストを1/1000に抑えることが可能になるという。 産業技術総合研究所コンソーシアム・ファブシステム研究会(以下、産総研コンソーシアム)とミニマルファブ技術研究組合は、「SEMICON Japan 2014」(2014年12月3~5日、東京ビッグサイト)で、ミニマルファブ向けの製造装置を実演展示した。半導体チップの製造に0.5インチウエハーを用いることで、「メガファブ」