SKハイニックスが日本の輸出規制品目の一つである液体フッ化水素(エッチング液)の国産化に成功した。今月初めから国内企業の製品を一部半導体生産ラインに投じている。液体フッ化水素は半導体の原版であるウェハーを削って不純物を除去する際に使用される核心材料だ。 日本政府は韓国向け輸出規制を始めた7月以降、気体フッ化水素の輸出は3件承認したが、液体製品輸出はまだ1件も許可していない。産業界では半導体企業による核心素材の国産化と輸入処の多角化が予想より早く進んでいるという評価が出ている。 SKハイニックス関係者は2日、「1日から一部の生産ラインに日本産液体フッ化水素の代わりに国産製品を投じている」と明らかにした。同社は液体フッ化水素をラムテクノロジーから供給を受けていると伝えた。 ラムテクノロジーは2001年10月に設立された半導体工程用科学素材専門企業だ。中国産原料を輸入して再加工したフッ化水素製品