ラピダスがIIM(イーム)と呼んでいる開発工場の完成イメージ。(ラピダスのプロジェクト紹介資料から、鹿島協力) 大陽日酸は半導体製造に用いる特殊ガスの物流・サービス拠点を北海道内に新設する検討に入った。苫小牧市内のグループ会社の事業所敷地を活用する方針。最先端半導体の製造を目指すラピダスの新工場(北海道千歳市)などへの供給拠点とし、他社品の取り扱いも視野に入れる。半導体製造では多様なガスが使われ、工程の複雑化でさらなる増加も見込まれる。新工場の近くに中核拠点を整備し、特殊ガスの供給円滑化を図る。ラピダス新工場をめぐっては、海外半導体製造装置メーカーも技術支援拠点を開設する方針で、協力体制の整備が進む。 整備時期は未定だが、ラピダスが試作ラインを立ち上げる2025年を見据える。半導体製造では成膜やエッチングなど全行程で約30種類のガスが使われる。先端半導体では製造工程が複雑化し、より多種多量