はじめに 今や製造業のキーデバイスとなりつつあるMEMS(メムス)は、その産業的な波及効 果の大きさから、産業のマメと言われています(半導体が産業のコメと呼ばれているこ とに対応)。また、MEMSは未来の新たなライフスタイルを創出することも期待されてい ます。ここでは、素晴らしい可能性を秘めているMEMS(メムス)について、わかりやすく 解説します。 お問い合わせ 一般財団法人マイクロマシンセンター 〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階 電話 03-5835-1870 Fax 03-5835-1873 www.mmc.or.jp research@mmc.or.jp 1 【1.MEMSとは】ではMEMS(メムス)ということばの持つ意味とその特長、さらには開発 の歴史について 【2. MEMSプロセス】ではMEMS(メムス)の代表的な作り方とその流れにつ
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