ニコン、インテルから開発費 次世代半導体製造装置で - 日本経済新聞ニコンは米半導体大手のインテルと共同で、次世代半導体製造の中核となる露光装置を開発する。現行より大きい半導体ウエハーに回路を描くことでコストを半減させる技術を、2018年までに実用化する。インテルは数百億円の開発費負担を決めたもよう。ニコンは同装置で世界2位。最大顧客のインテルからの資金支援を得て、開発を加速させる。（関連記事企業2面に）半導体露光装置で世界シェア8割のオランダASMLもインテ
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